電子束法煙氣治理技術的研究工作始于20世紀70年代初期。1971年日本原子能研究所與Ebara公司開始研究煙道氣輻照引起的脫除和Nox的輻射化學反應。在美國能源部的資助下，在原公司進一步開發這一項技術，目前已建立了一批示范點，其中包括我國四川省成都熱電廠的電子束煙氣脫硫示范裝置。歐美等國家也相繼開展了這方面的研究。
雖然電子束法具有很好的發展前景，但也存在著一些不足:
1、產生x射線，工業應用時必須建有混凝土防輻射工程，裝置不能移動;
2、冷卻窗用壓縮空氣冷卻，電子線照射產生大量臭氧，對裝置有腐蝕，對周圍環境也有害;
3、由于電子束法產生的高能電子能量非常高，對于煙氣中任何氣體分子均可破壞其化學鍵，使煙氣分子電離產生離子，因而煙氣中含量比較高的氮氣分子和一些無害物質將被分解和電離，浪費了能量，造成工藝的能耗較大;
4、采用的電子槍價格昂貴，電子槍及靶窗的壽命短，設備結構較復雜。
介質阻擋放電技術
介質阻擋放電法是產生等離子體較為理想的方法，也是比較早得到放電應用的方法之一。它的工作原理是在兩電極之間插入一介質，然后通過施加足夠高的交流電，使電極間隙間的氣體達到擊穿，從而產生大量細微的快脈沖放電通道。電介質在放電過程中相當一個電容器，起到儲能的作用。
上海羿清環保采用的是生物除臭，其生產的生物濾池臭氣處理設備能夠有效處理臭氣，而且不會產生二次污染，受到業內專業人士的一致贊譽。
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